盛美成立于2005年，是注冊于上海浦東新區張江高科技園區的外資企業，已于2017年正式登陸美國納斯達克。盛美集研發、設計、制造、銷售于一體。由王暉博士帶領的團隊開發出了具有世界領先的全球專利保護的單片SAPS，TEBO兆聲波技術，高溫硫酸清洗技術，以及電鍍銅，電拋光技術。王暉博士畢業于清華大學精密儀器系，獲得日本大阪大學精密工學科博士學位，并作為海外高層次歸國創業人才入選了國家“千人計劃”。盛美主要產品有兆聲波單片清洗設備，TEBO，背面清洗設備，無應力拋銅設備，TSV深孔清洗設備，干法刻蝕設備，涂膠機，顯影機，去膠機，腐蝕機，薄片清洗機，高溫硫酸清洗設備，Ultra C Tahoe等。公司具有高新技術企業資質，承擔十一五國家科技重大專項和十二五國家科技重大專項的研發。盛美是國內單片清洗設備的最大供應商，現有8，600平米的制造車間，產能50臺各種設備/年，可擴張至100臺/年。去年實現銷售2.4億元，今年預計有望實現銷售成長90%，創歷史新高。